nanoKIT

 

In der dielektrischen Messtechnik werden Kondensatoren mit außerordentlich geringem Plattenabstand verwendet, um ausreichend hohe Kapazitäten auch bei kleinen Plattenflächen zu realisieren. Das nanoKIT ist eine Zusammenstellung von Konstruktionsmaterial, aus dem Kondensatoren mit einem Plattenabstand bis herunter zu 60nm hergestellt werden können. Es enthält 60 unstrukturierte Platten in den Abmessungen 4mm x 10mm als Basiselektrode und 270 Gegenelektroden 1mm x 1mm (strukturiert mit Abstandshaltern mit einer Fläche von 5µm x 5µm und einer Höhe von 60nm, angeordnet in einem Raster 30µm x 30 µm), Kleinwerkzeuge, einen Spin Coater SCI-kompatiblen Chuck, ein PTFE-Gefäß sowie eine Probenzelle mit einem Paar Anschlusselektroden. Die Kondensatorstrukturen sind aus hoch leitfähigem Si-Wafermaterial hergestellt und zur besseren Kontaktierung rückseitig Al-bedampft.

 

 

 

Aufnahme eines Abstandshalters mit dem Raster-kraftmikroskop (Atomic Force Microscope - AFM). Die Darstellung ist in Y-Richtung stark gestreckt, um die Ebenheit der Oberfläche besser darzustellen. 

 

 

 

Hardware: Digital Instruments Dimension 3100 AFM Aufnahme:  Dr. Martin Treß, Universität Leipzig / Physik

 

 

 

 

 

Das nanoKIT ist ausschließlich und exklusiv erhältlich im Vertrieb von Novocontrol Technologies GmbH & Co. KG, zu deren dielektrischen Spektrometern auch die im Lieferumfang befindliche Probenzelle passt.

 

 

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