Tische / Chucks

 

Zur Erzielung optimaler Coatings müssen Substrat- und Tischgröße aufeinander abgestimmt werden. Bei den Geräten ohne Vakuum-Option sind die Tische mit Aussparungen versehen, die exakt zu den verwendeten Substraten passen. Bei Geräten mit Vakuum-Option sollten die Haltekräfte durch möglichst große Überdeckung der Tischfläche optimiert werden. Dabei minimiert man gleichzeitig das Risiko, Coating-Material in den Vakuum-Trakt zu saugen.

 

Tische für Geräte ohne Vakuum-Option

 

Angegeben sind jeweils Außen- / Probendurchmesser.

 

Bezeichnung Material Beschreibung
  ST-12    VA Probentisch für Waferstücke 8mm x 3mm
  ST-20    VA Probentisch 20/10 für alle SCI-Geräte
  ST-20K    VA wie vor, Innendurchmesser 10...19 auf Kundenwunsch
  ST-20-QCM    VA wie vor, für QCM-Substrate 18/14,1 mm, 
zusätzliche seitliche Grifftaschen für Pinzette
  ST-40     Al Probentisch 40/20 für alle SCI-Geräte
  ST-40K     Al wie vor, Innendurchmesser 20...38 auf Kundenwunsch
     
      
  ST-72     Al

Probentisch 72/70,7;geeignet für quadratische 50 mm – Substrate

Nur für SCI-10 und -20 geeignet!

  ST-72K     Al

wie vor, Innendurchmesser 50...71 auf Kundenwunsch

Nur für SCI-10 und -20 geeignet!

 

 

Tische für Geräte mit Vakuum-Option

 

Angegeben ist jeweils der Außendurchmesser.

 

Bezeichnung Material Beschreibung
  VT-25p     Al

Probentisch 25mm für alle Vakuum-Geräte (Plantisch)

  VT-25pr6

  VT-25pr20

   Al

   Al

Plantisch 25mm mit eingelegtem O-Ring NBR 6x1

Plantisch 25mm mit eingelegtem O-Ring NBR 20x1

  VT-25pr     Al Plantisch 25mm mit zwei eingelegten O-Ringen wie oben stehend
  VT-30     Al Probentisch 30mm für alle Vakuum-Geräte
  VT-50     Al Probentisch 50mm für alle Vakuum-Geräte
  VT-70     Al Probentisch 70mm für alle Vakuum Geräte
  VT-90     Al

Probentisch 90mm für Vakuum-Geräte SCE und SCC (auf Anfrage)