Tische / Chucks

Zur Erzielung optimaler Coatings müssen Substrat- und Tischgröße aufeinander abgestimmt werden. Bei den Geräten ohne Vakuum-Option sind die Tische mit Aussparungen versehen, die exakt zu den verwendeten Substraten passen. Bei Geräten mit Vakuum-Option sollten die Haltekräfte durch möglichst große Überdeckung der Tischfläche optimiert werden. Dabei minimiert man gleichzeitig das Risiko, Coating-Material in den Vakuum-Trakt zu saugen.

Tische für Geräte ohne Vakuum-Option

Angegeben sind jeweils Außen- / Probendurchmesser.

Bezeichnung	Material	Beschreibung
ST-12	VA	Probentisch für Waferstücke 8mm x 3mm
ST-20	VA	Probentisch 20/10 für alle SCI-Geräte
ST-20K	VA	wie vor, Innendurchmesser 10...19 auf Kundenwunsch
ST-20-QCM	VA	wie vor, für QCM-Substrate 18/14,1 mm, zusätzliche seitliche Grifftaschen für Pinzette
ST-40	Al	Probentisch 40/20 für alle SCI-Geräte
ST-40K	Al	wie vor, Innendurchmesser 20...38 auf Kundenwunsch


ST-72	Al	Probentisch 72/70,7;geeignet für quadratische 50 mm – Substrate Nur für SCI-10 und -20 geeignet!
ST-72K	Al	wie vor, Innendurchmesser 50...71 auf Kundenwunsch Nur für SCI-10 und -20 geeignet!

Tische für Geräte mit Vakuum-Option

Angegeben ist jeweils der Außendurchmesser.

Bezeichnung	Material	Beschreibung
VT-25p	Al	Probentisch 25mm für alle Vakuum-Geräte (Plantisch)
VT-25pr6 VT-25pr20	Al Al	Plantisch 25mm mit eingelegtem O-Ring NBR 6x1 Plantisch 25mm mit eingelegtem O-Ring NBR 20x1
VT-25pr	Al	Plantisch 25mm mit zwei eingelegten O-Ringen wie oben stehend
VT-30	Al	Probentisch 30mm für alle Vakuum-Geräte
VT-50	Al	Probentisch 50mm für alle Vakuum-Geräte
VT-70	Al	Probentisch 70mm für für Vakuum-Geräte SCE und SCC
VT-90	Al	Probentisch 90mm für Vakuum-Geräte SCE und SCC (auf Anfrage)