Membranpumpen

 

Zur Fixierung der Proben auf den Spin Coater-Tischen kommen in der Praxis hauptsächlich drei Varianten in Betracht:

  • das Anheften mit doppelseitigem Klebe- oder Klettband,
  • die Verwendung von Chucks (Drehtischen), welche exakt zu den Proben passen und
  • die Substratfixierung mittels Vakuumansaugung.

Die Klebevariante arbeitet nur bei unempfindlichen Proben ausreichender Dicke zufriedenstellend. Die Verwendung kundenspezifischer, passender Chucks setzt die Verwendung immer exakt gleich großer Substrate voraus und kann deshalb nur für Routine-Arbeiten empfohlen werden. Dünne, brüchige oder sonstig empfindliche Proben oder Substrate unterschiedlichster Geometrien können schonend nur per Vakuumansaugung gehalten und später zerstörungsfrei entfernt werden. 
Als Ergänzung zu den Spin Coater Serien SCV, SCE und SCC werden Miniaturpumpen angeboten, die ein Endvakuum von min. 100mbar bei einer freien Flussrate von max. 6l/min erzeugen. Mit diesen Pumpen können kleine, unwuchtarme Proben bis zu einer Masse von ca. 500 mg (z.B. mikroskopische Deckgläser) sicher auf den Tischen gehalten werden. Der Betrieb der Pumpe erfolgt am 230 Volt-Netz. Der Rezipient wird über eine Miniatur-Schnellverschlusskupplung angeschlossen. 
Vakuumschläuche mit den passenden Schnellkupplungen erhalten Sie selbstverständlich auch.